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      PCVD(等離子體輔助化學(xué))小型實驗室設(shè)備已有研制，但僅為直流等離子體電源。模具要求大型工業(yè)設(shè)備，須配備脈沖直流電源，而國內(nèi)迄今尚未研制。國外僅日本和奧地利等國擁有此類工業(yè)設(shè)備。西安交大等單位完成的這一項目，解決了脈沖直流PCVD制備硬質(zhì)薄膜的若干理論和應(yīng)用技術(shù)，突破了工業(yè)設(shè)備制造的電源瓶頸和工藝穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計，打破了國外技術(shù)壟斷，降低了設(shè)備成本?？蓱?yīng)用于現(xiàn)代制造業(yè)，主要是機械零部件的成型和加工，如數(shù)控機床刀具、集成電路高速鉆頭、航空發(fā)動機葉片等，同時也可應(yīng)用于各類機械配件的加工，如氣缸活塞、摩擦盤銷、傳動件和聯(lián)結(jié)件等。